C05000 - SEMI C50 - Guide for Trimethylphosphite StdVol-Gases In this Document

In this Document

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

This Document applies only to hydrogen gas delivered through pipelines

SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

C05000 - SEMI C50 - Guide for Trimethylphosphite StdVol-Gases In this DocumentThis Standard was technically approved by the Liquid Chemicals Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on August 27, 2010. Available at www. semi. org in November 2010; originally published in 1995; previously published November 2005. NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive